國內(nèi)首條光子芯片中試線在無錫啟用
新華報業(yè)·新江蘇訊 （記者 房雅雯） 在近日舉辦的2024集成電路（無錫）創(chuàng)新發(fā)展大會上，由上海交通大學(xué)無錫光子芯片研究院建設(shè)的國內(nèi)首條光子芯片中試線宣布正式啟用，預(yù)計(jì)年產(chǎn)能達(dá)1萬片晶圓。
據(jù)了解，該光子芯片中試平臺位于無錫蠡園開發(fā)區(qū)，總面積1.7萬平方米，集科研、生產(chǎn)、服務(wù)于一體，配備了超100臺國際頂級CMOS工藝設(shè)備，覆蓋薄膜鈮酸鋰光子芯片從光刻、薄膜沉積、刻蝕、濕法、切割、量測到封裝的全閉環(huán)工藝。此外，平臺還兼顧硅、氮化硅等其他材料體系，搭建N個特色工藝平臺，形成領(lǐng)先的“1+N”先進(jìn)光子器件創(chuàng)新平臺，不僅可為高校、科研院所、創(chuàng)新企業(yè)提供全流程技術(shù)服務(wù)，還可為光子產(chǎn)業(yè)孵化項(xiàng)目打通從產(chǎn)品研發(fā)到市場化的完整鏈條，加速科技成果的商業(yè)化轉(zhuǎn)化。
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