3月26日,半導體產業(yè)知識產權運營中心在錫啟動,此前一天,一場全國性的集成電路協(xié)同創(chuàng)新發(fā)展大會在錫召開,多家無錫企業(yè)受到表彰。圍繞集成電路產業(yè)鏈,無錫加速布局,做強做大關鍵環(huán)節(jié)。目前,我市在集成電路設計、晶圓制造、封測領域都擁有了一到幾家上市企業(yè),材料及裝備業(yè)雖起步較晚,但也在去年底由微導填補了空缺。“材料、裝備一直是無錫集成電路產業(yè)的短板,但是目前來看這一塊正在加緊補齊。”市工業(yè)和信息化局人士透露,2022年相關行業(yè)營收已達到667.3億元。
去年,我市集成電路實現(xiàn)產值2091.52億元,其中最為矚目的是專用材料及裝備等支撐產業(yè),產值相較2021年增幅達到26.15%,在整個產業(yè)鏈環(huán)節(jié)中僅次于無錫的傳統(tǒng)強項晶圓制造,產業(yè)規(guī)模迅速成長跡象明顯。
集成電路產業(yè)一直遵循“一代裝備,一代工藝,一代產品”的模式發(fā)展,正因為如此,集成電路制造與檢測設備成為了產業(yè)技術升級和發(fā)展的先導與核心。作為全國唯一的擁有集成電路全產業(yè)鏈的地級市,產業(yè)鏈的進一步筑強在于均衡發(fā)展各個關鍵環(huán)節(jié)。據(jù)了解,目前全市共有集成電路裝備和材料企業(yè)50余家。在高端裝備方面,除晶圓制造光刻機、測試機外,無錫均有企業(yè)布局,其中吉姆西半導體、連城凱克斯、微導納米、恩納基智能、艾匹克半導體在單晶硅生長爐、薄膜沉積設備、化學機械研磨拋光設備、封測設備領域均排國內前列,同時還集聚了中環(huán)領先、雅克科技、江化微、帝科電子、潤瑪電子、創(chuàng)達新材等一批關鍵材料重點企業(yè)和項目。
“近年來落地的幾個重大項目的增量效應,開始顯現(xiàn)。”市工業(yè)和信息化局人士介紹,圍繞中環(huán)領先大硅片項目,宜興市建立了集成電路材料產業(yè)園,發(fā)展包括化學機械拋光材料、高純試劑、電子氣體、光刻膠、掩膜版等關鍵材料。
產業(yè)園的定位也是各有側重。發(fā)展數(shù)年的高新區(qū)集成電路裝備及材料產業(yè)園總投資380億元,重點發(fā)展新型定制化、差異化的設備和零部件,加快推進集成電路裝備及關鍵零部件制造企業(yè)集聚。2021年,錫山區(qū)成立了集成電路裝備產業(yè)園,重點發(fā)展工藝檢測設備、組裝與封裝設備、集成電路測試設備等。2022年,高新區(qū)新港集成電路裝備零部件及材料產業(yè)園正式開工,鎖定關鍵產業(yè)鏈環(huán)節(jié)引育龍頭企業(yè)。
圍繞集成電路產業(yè)鏈進行整體布局,我市設立了包括集成電路產業(yè)專項投資基金等在內的各類資金,發(fā)揮龍頭企業(yè)帶動作用,建設先導集成電路裝備與材料產業(yè)園、SK海力士無錫高新區(qū)集成電路產業(yè)園等載體平臺,通過舉辦集成電路裝備產業(yè)供應鏈產業(yè)鏈對接合作沙龍、組織企業(yè)參與行業(yè)博覽會等舉措,幫助裝備研發(fā)制造企業(yè)與上下游產業(yè)鏈企業(yè)建立合作協(xié)同發(fā)展。
記者注意到,發(fā)展集成電路產業(yè)已連續(xù)多年寫入無錫政府工作報告,今年則明確提及“做大裝備材料支撐”。相關人士表示,目前無錫集成電路高端裝備和關鍵材料產業(yè)已具備一定規(guī)模,但“含金量”還有待提高。一方面,企業(yè)規(guī)模偏小,“高端裝備和關鍵材料需要持續(xù)高強度研發(fā)投入,如果企業(yè)規(guī)模偏小,則難以承受持續(xù)投入,不能形成良性循環(huán)。”另一方面,技術水平不高,對相關企業(yè)的帶動作用偏弱。
據(jù)了解,我市集成電路高端裝備和材料主要供應6英寸及以下晶圓產線,在技術要求更高的8英寸、12英寸產線滲透率不高。“公共的驗證平臺缺乏也讓裝備和材料的國產化替代驗證較難開展。”相關人士認為,打通上下游配套,形成設計、機加工、裝配、維修在內的一體化協(xié)作方式,將有效縮短國產化裝備的生產驗證周期。“無錫有較多制造業(yè)企業(yè),加快設備企業(yè)進入驗證過程,激發(fā)代工廠與設備企業(yè)的互動,將有效促進設備企業(yè)在我市布局。”
相關人士表示,產業(yè)鏈布局卡位時機非常重要,目前全國晶圓廠的產能格局基本成形,涉足半導體產業(yè)的城市都在爭搶裝備、零部件和材料項目。“半導體制造設備是集成電路產業(yè)鏈中最核心的生產基礎,兼具資金密集與技術密集的特點,技術門檻高、資金投入大、回收周期長,進入壁壘很高,國產化率不足20%,從掌握核心技術到擴大市場意義都十分重大。” (高飛)
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