一粒“米”產(chǎn)值達(dá)1460億
納米是長(zhǎng)度單位，1納米為10的負(fù)9次方米，也就是0. 000001毫米。在蘇州工業(yè)園區(qū)，就是這個(gè)比細(xì)菌還要小得多的納米，蘊(yùn)含著一個(gè)千億級(jí)的大產(chǎn)業(yè)。
日前，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）材料生長(zhǎng)與裝備平臺(tái)和企業(yè)聯(lián)合研發(fā)的首臺(tái)國(guó)產(chǎn)MOCVD（新型氣相外延生長(zhǎng)技術(shù)）設(shè)備，首爐試生長(zhǎng)成功產(chǎn)出高質(zhì)量GaN外延片，讓蘇州工業(yè)園區(qū)納米技術(shù)應(yīng)用產(chǎn)業(yè)再次聚焦業(yè)界目光。
據(jù)悉，這臺(tái)國(guó)產(chǎn)MOCVD設(shè)備進(jìn)一步提高了腔體的環(huán)境穩(wěn)定性，通過(guò)對(duì)核心部件的優(yōu)化設(shè)計(jì)，獲得比傳統(tǒng)商用設(shè)備更高的氣流可調(diào)性和溫度一致性，可以滿(mǎn)足對(duì)外延要求更高的氮化物材料與器件（GaN基Micro-LED等）的外延生長(zhǎng)和器件開(kāi)發(fā)。
納米技術(shù)應(yīng)用是蘇州工業(yè)園區(qū)早在2006年就前瞻性布局的未來(lái)產(chǎn)業(yè)。聚焦微納制造、第三代半導(dǎo)體、納米功能材料、納米大健康四大重點(diǎn)方向，蘇州工業(yè)園區(qū)精心繪制產(chǎn)業(yè)藍(lán)圖，大力開(kāi)展雙招雙引，積極構(gòu)建科技創(chuàng)新和成果轉(zhuǎn)化體系，持續(xù)優(yōu)化產(chǎn)業(yè)生態(tài)，在高性能微球材料、先進(jìn)半導(dǎo)體材料、高端芯片等多個(gè)領(lǐng)域填補(bǔ)國(guó)內(nèi)空白。轄區(qū)不僅入選國(guó)家先進(jìn)制造業(yè)集群和國(guó)家創(chuàng)新型產(chǎn)業(yè)集群，還在“中國(guó)智能傳感器十大園區(qū)”“第三代半導(dǎo)體最具競(jìng)爭(zhēng)力產(chǎn)業(yè)園區(qū)”榜單中位列榜首，已成為國(guó)內(nèi)最具影響力、最具國(guó)際知名度的人才、技術(shù)和產(chǎn)業(yè)高地，躋身全球五大納米產(chǎn)業(yè)集聚區(qū)。截至目前，蘇州工業(yè)園區(qū)已集聚納米技術(shù)應(yīng)用相關(guān)企業(yè)1100余家，2022年產(chǎn)值達(dá)1460億元。
2021年，蘇州工業(yè)園區(qū)獲批建設(shè)國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）。2年多來(lái)，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）始終瞄準(zhǔn)國(guó)家和產(chǎn)業(yè)發(fā)展全局的創(chuàng)新需求，以關(guān)鍵技術(shù)研發(fā)為核心使命，著力建設(shè)開(kāi)放共享的公共研發(fā)平臺(tái)。目前，國(guó)家第三代半導(dǎo)體技術(shù)創(chuàng)新中心（蘇州）與全國(guó)知名高校、院所、企業(yè)設(shè)立23個(gè)聯(lián)合研發(fā)中心，建立了比肩國(guó)際一流科研機(jī)構(gòu)的公共服務(wù)平臺(tái)，產(chǎn)學(xué)研協(xié)同推動(dòng)科技成果轉(zhuǎn)移轉(zhuǎn)化與產(chǎn)業(yè)化，為第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展提供源頭技術(shù)供給。
材料生長(zhǎng)與裝備平臺(tái)是國(guó)家第三代半導(dǎo)體創(chuàng)新中心（蘇州）的四大功能平臺(tái)之一，圍繞國(guó)家重大布局和第三代半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)應(yīng)用需求，面向新型顯示、電力電子、微波射頻和深紫外等應(yīng)用領(lǐng)域，聯(lián)合企業(yè)、高校院所重點(diǎn)建設(shè)外延技術(shù)和裝備研發(fā)的系統(tǒng)能力，致力于建成國(guó)際一流的綜合型材料創(chuàng)新平臺(tái)。目前，材料生長(zhǎng)與裝備平臺(tái)已承擔(dān)國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)任務(wù)3項(xiàng)，江蘇省重點(diǎn)項(xiàng)目任務(wù)2項(xiàng)，申請(qǐng)核心專(zhuān)利130項(xiàng)，累計(jì)為全國(guó)60余家國(guó)內(nèi)企業(yè)和科研院校提供支撐服務(wù)。
（蘇報(bào)融媒記者 董捷）
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